氨气多应用于晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜。液氨广泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。

高纯氨气的应用 
合成氨气用于制造氮肥等化工原料
工业氨气用于氨分解制氮氢混合气体
液氨用于电厂等工厂氨制冷系统的制冷剂（R717）
液氨用于有机合成
高纯氨气用于LED电子行业的氮源
高纯氨气跟硅烷、高纯氩气用于薄膜太阳能电池制造

高纯氨气注意事项
高纯氨气是强腐蚀性有毒物质，对皮肤和眼睛有强烈腐蚀作用，产生严重疼痛性灼伤。高纯氨蒸气强烈刺激呼吸道粘膜和眼睛，对呼吸有窒息作用。受高纯氨损伤的皮肤应立即用清水冲洗，然后以3%～5%的硼酸、乙酸或柠檬酸溶液湿敷。严重时应立即请医生处理。
高纯氨气吸入人体，少部分为二氧化碳说中和，余下的进入血液，主要与血红蛋白结合，破坏血液运氧功能。短期内吸入大量氨气后会出现流泪、咽痛、咳嗽、胸闷、呼吸困难、头晕、呕吐、乏力等。若吸入的高纯氨过多，导致血液中氨浓度过高，就会通过三叉神经末梢的反射作用而引起心脏的停搏和呼吸停止，危及生命。
使用高纯氨气前，应给氨气管道进行氮气试压、氦气保压及肥皂水试漏，确保氨气管道不泄露。工作环境保持通风。需要有2人同时操作，以应对突发状况。
氨气钢瓶瓶颈上有钢瓶检验时间，不符合要求的钢瓶应到有资质的压力容器检验单位进行检验。严禁使用过期钢瓶。