别名：R116 / 全氟乙烷

分子式：C₂F₆

外观与性状：无色、无气味、非易燃的气体，在24.3℃以上时不能保持液态，通常装在耐高压钢瓶内

分子量：138.0

沸点：-78℃

熔点：-101℃

溶解性：微溶于水

密度：相对密度（水=1）1.61；相对密度（空气=1）4.7

稳定性：稳定

危险标记：5（不燃气体）

主要用途：用作绝缘气、等离子蚀刻剂，高介电强度冷却剂，六氟乙烷应用于刻蚀气体等离子刻蚀

应用行业

电子工业：六氟乙烷作为等离子蚀刻工作气体在发展微电子工业方面起着重要作用，是加工超大规模集成块工艺中所必需的介质；
制冷空调业：六氟乙烷右用做制冷和空调的冷媒。六氟乙烷还可与HFC-23组成不损害臭氧层的共沸剂R-508B,R-508B用做多级压缩循环中在低温段替代CF-13和R-503的替代物；
化学工业：六氟乙烷可用做化学反应中的添氟剂；
电力工业：六氟乙烷可用做电气设备的绝缘剂和高介电强度冷却剂；
其它：六氟乙烷可用于器件表面清洗，还可用于光纤生产。

应急处理处置方法
1. 泄漏应急处理
戴自给式呼吸器，穿工作服。切断气源。抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。
2. 防护措施
呼吸系统防护：空气中浓度较高时，应该佩戴防毒面具。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴自给式呼吸器。
眼睛防护：一般不需要特殊防护。
身体防护：穿工作服。
手防护：一般不需要特殊防护。
其它：避免高浓度吸入。
3. 急救措施
吸入：脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸、就医。
灭火方法：切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。